1.擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵串聯(lián)冷阱系統(tǒng)

即是該真空系統(tǒng),擴(kuò)散泵串聯(lián)兩個(gè)液氮冷阱,而且真空室和冷阱6能耐400～450℃的烘烤。在此溫度下,可以清除真空室壁及冷阱壁上吸附的氣體及凝結(jié)的泵油。該系統(tǒng)一般可以得到1.33×10-7Pa的極限真空度。

1.真空室2.熱偶真空計(jì)3.B-A真空計(jì)4.放氣閥5.超高真空閥6,7.冷阱8.電離真空計(jì)9.擴(kuò)散泵10.前級(jí)管道閥11.前級(jí)阱12.電磁閥13.機(jī)械泵14.超高真空管道閥15.烘烤裝置

2.渦輪分子泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)

為該系統(tǒng)。此系統(tǒng)不烘烤可以獲得10-6Pa的真空度,烘烤后的真空度可以達(dá)到10-8Pa。該系統(tǒng)的特點(diǎn)是比較清潔,可構(gòu)成無油超高真空系統(tǒng)。

3.濺射離子泵無油超高真空系統(tǒng)

為該系統(tǒng)原理圖。以濺射離子泵為主泵,使用兩個(gè)分子篩泵做預(yù)抽泵,其中一個(gè)分子篩泵用來抽走真空室和濺射離子泵中的大氣壓下的氣體,另一個(gè)用來抽走烘烤及離子泵啟動(dòng)時(shí)放出來的氣體。

4.低溫泵無油超高真空系統(tǒng)

用低溫泵做為主泵,并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵(做預(yù)抽真空泵)。該真空系統(tǒng)也可以用機(jī)械泵做為預(yù)真空泵,但必須在機(jī)械泵的入口管路上設(shè)置油蒸汽捕集器。

5.組合超高真空系統(tǒng)

1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵 4.鈦升華泵 5.超高真空閥 6.放氣閥 7.高真空閥 8.分子篩泵 9.吸附阱 10.機(jī)械泵

無油超高真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)原理圖

對于某些有特殊要求的真空系統(tǒng),如對于既要求得到超高真空或無油超高真空,又同時(shí)滿足粗抽需要及能應(yīng)付工藝過程中放出來的大量氣體這樣的系統(tǒng),可采用組合式系統(tǒng)來滿足要求。圖16給出無油超高真空鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)原理圖。主泵為濺射離子泵,為了提高真空度及排走蒸發(fā)材料時(shí)產(chǎn)生的大量氣體,配有鈦升華泵。極限真空度可達(dá)6.67×10-7Pa。用分子篩泵做主泵的預(yù)抽泵。此外,系統(tǒng)還配有吸附阱-機(jī)械泵粗抽系統(tǒng),在壓力大于1333Pa時(shí),機(jī)械泵不易返油,用機(jī)械泵直接對真空室抽真空,當(dāng)真空室的壓力低于1333Pa以后,機(jī)械泵經(jīng)吸附阱9從旁路抽真空室。

給出了又一種型式的組合超高真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)適合于真空封接爐、鉭片爐等設(shè)備。系統(tǒng)的主泵為濺射離子泵—鈦升華泵組。真空室極限真空可達(dá)到5×10-7Pa。系統(tǒng)配有油擴(kuò)散泵-機(jī)械泵組成的機(jī)組,用來粗抽和作為主泵的預(yù)抽泵,同時(shí)能抽走工藝過程中放出來的大量氣體。

1.真空室 2.超高真空閘閥 3.濺射離子泵-鈦升華泵組 4.超高真空閘閥 5.冷阱 6.擴(kuò)散泵 7.前級(jí)管道閥 8.超高真空管道閥 9.放氣閥 10.機(jī)械真空泵