分子束外延生長(MBE )是一種在高真空或超高真空環境下，利用蒸發源加熱而產生的蒸氣，經小孔準直后形成的分子束或原子束，直接濺射到適當溫度的基片，上，在目標樣品表面形成高純度薄膜的薄膜制備技術。MBE可在原子尺度上控制薄膜厚度和薄膜純度(能嚴格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度)。廣泛應用于:晶體生長、超晶格、金屬、半導體、化合物、有機物薄膜制備、分子自組裝等方面。
● 設計成熟，可擴展性強，操作簡便，易學易用
● 可靠性好，能保證長時間穩定工作
● 系統功能可根據用戶需求完全定制
● 獨特的樣品加熱設計，樣品溫度可達1600℃
□ 可定制功能：
● 腔體結構、傳樣機構，泵組及其品牌型號
● 樣品尺寸及其加熱方式
● 樣品操作臺運動維度和行程
● 蒸發源口徑、溫度、加熱方式和數量
● 進樣和存樣機構的樣品數量
● 可擴展反射式高能電子衍射儀、紅外測溫儀、膜厚儀、氣源等
● 程序控制功能
● 腔體可做無磁處理
分子束外延生長系統（MBE）
